靶丸表面轮廓形貌AFM精密测量及特性评价附视频

被引：15

作者：

赵学森 ^{[1
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孙涛 ^{[1
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高党忠 ^{[2
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唐永建 ^{[2
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董申 ^{[1
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机构：

[1] 哈尔滨工业大学精密工程研究所

[2] 中国工程物理研究院激光聚变研究中心

来源：

强激光与粒子束 | 2005年 / 12期

关键词：

ICF靶丸; AFM; 球度; 表面粗糙度; 功率谱; 精密回转主轴系; 辅助转位轴系;

D O I：

暂无

中图分类号：

TL632.1 [];

学科分类号：

摘要：

建立了由改造的原子力显微镜(AFM)、精密回转气浮轴系、辅助转位轴系等组成的靶丸表面形貌精密测量系统,气浮轴系的回转精度达0.049μm,实现了对激光核聚变靶丸3个正交方向上完整圆周迹线的测量。对选定靶丸的测量数据进行了球度、表面粗糙度及功率谱分析。结果表明:其球度值为0.42μm;模数范围为2～10,11～50,51～100及101～1 000对应的表面粗糙度值平均为105.7,12.2,6.2,18.25 nm;并得出了平均1维功率谱-模数关系曲线。

引用

页码：1847 / 1851

页数：5