红外微辐射元的研制

被引：9

作者：

李守荣

梁平治

屈新萍

机构：

[1] 中国科学院上海技术物理研究所

[2] 复旦大学微电子系上海

[3] 上海

来源：

关键词：

红外微辐射元; 电阻阵列; 动态红外景象产生器; 半实物仿真;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN219 [红外技术的应用];

学科分类号：

0803 ; 080401 ; 080901 ;

摘要：

利用表面微机械加工技术 ,研制出微桥结构红外微辐射元 .该辐射元是电阻阵列动态红外景象产生器的基本组成单元 .辐射元可以产生等效黑体辐射温度为 30 0～ 5 0 0K的红外辐射 ,能够满足中波、长波红外半实物仿真的需求 .

引用

页码：277 / 280

页数：4