ZnO薄膜及其性能研究进展

被引：20

作者：

黄焱球

刘梅冬

曾亦可

刘少波

机构：

[1] 华中科技大学电子科学与技术系!武汉

来源：

无机材料学报 | 2001年 / 03期

关键词：

ZnO薄膜; 制备; 性质; 发展前景;

D O I：

暂无

中图分类号：

TB383 [特种结构材料];

学科分类号：

070205 ; 080501 ; 1406 ;

摘要：

ＺｎＯ薄膜是一种具有优良的压电、光电、气敏、压敏等性质的材料，在透明导体、发光元件、太阳能电池窗口材料、光波导器、单色场发射显示器材料、高频压电转换器、表面声波元件、微传感器以及低压压敏电阻器等方面具有广泛的用途．ＺｎＯ薄膜的制备方法多样，各具优缺点；而薄膜性质的差异则取决于不同的掺杂组分，并与制备工艺紧密相关．本文综述了ＺｎＯ薄膜的制备及性质特征，并对其发展趋势及前景进行了探讨．

引用

页码：391 / 397

页数：7

共 7 条

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