光纤F—P干涉传感器进行精密表面粗糙度测量原理探讨

被引：2

作者：

苏寒松

鲍振武

机构：

[1] 天津大学!天津,天津大学!天津

来源：

仪器仪表学报 | 2001年 / S1期

关键词：

光纤传感器; 粗糙度测量;

D O I：

10.19650/j.cnki.cjsi.2001.s1.019

中图分类号：

TH741.3 [];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

本文在双 F— P腔光纤干涉仪测距原理和光纤探针粗糙度测量方法的基础上 ,提出了光纤 F—P干涉传感器的高精度表面粗糙度测量原理。着重探讨了其测试方法

引用

收藏

页码：37 / 38

页数：2

相关论文

共 4 条

[1] 单模光纤探针式光学轮廓仪的基础研究 [J].

鲍振武 ;

霍洪涛 ;

刘钊 ;

刘剑飞 .

仪器仪表学报, 2000, (01) :104-107

[2] 光纤超外差干涉测量系统的研究 [J].

张存满 ;

赵洋 ;

李达成 .

光学技术, 1999, (05) :54-57+61

[3] 用于绝对距离测量的波长扫描干涉仪信号分析 [J].

王勇 ;

廖延彪 ;

田芊 .

光学学报, 1999, (04) :113-120

[4] 光学外差法检测超光滑表面粗糙度 [J].

罗忠生 ;

杨建坤 ;

张美敦 .

上海交通大学学报, 1999, (01) :55-58