多弧离子镀合金涂层表面颗粒的研究

被引:3
作者
张钧
田红花
戚羽
杨涛
机构
[1] 沈阳大学
[2] 中科院力学研究所
关键词
多弧离子镀,合金涂层,大颗粒;
D O I
10.13385/j.cnki.vacuum.1997.04.006
中图分类号
TQ153.2 [合金的电镀];
学科分类号
0817 ;
摘要
采用多弧离子镀技术,以DZ-22合金为基材,制备了Co-Ni-Cr-Al-Ta-Si合金涂层。观察了合金涂层表面大颗粒的形貌,考察了大颗粒(液滴)的沉积对涂层组织的影响,讨论了大颗粒的成分及形成过程,揭示了大颗粒现象的一般规律,提出了合金涂层平均成分的表示方法。
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[1]   多弧离子镀TiN装饰膜表面颗粒研究 [J].
杨建宏,周伟,杨型健 .
真空, 1995, (01) :20-24