坐标测量机高精度测头技术

被引：8

作者：

孙涛

张龙江

机构：

[1] 哈尔滨工业大学!信箱

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[3] 电话:()

[4] 哈尔滨工业大学

来源：

关键词：

三坐标测量机; 测头; 原子力微探针;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH72 [坐标器、计算机具、计数器];

学科分类号：

摘要：

介绍了坐标测量机高精度测头的研究发展现状 ;分析了接触方式、光学方式、扫描方式测头的优缺点 ;研究了日本松下公司研制的高精度测头测量原理 ;基于原子力微探针的基本原理 ,设计了一种新型的坐标测量机测头 ;指出了采用原子力准接触技术是测头向高精度发展的方向之一。

引用

页码：32 / 34+4

页数：4

共 4 条

[1] 计量型原子力显微镜 [J].

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Ｋ．Ｈａｓｃｈｅ ;

Ｒ．Ｓｅｅｍａｎｎ ;

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赵克功 ;

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[2] 对发展坐标测量机测头的新思考 [J].

肖贵福 .

[3] 坐标测量机激光非接触式测头的研制 [J].

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[4]

精密仪器精度理论[M]. 机械工业出版社 , 张善锺编著, 1993