共 2 条
纳米GeSb2Te4薄膜在大气环境中的摩擦性能研究
被引：4
作者：
朱守星
丁建宁
范真
李长生
蔡兰
杨继昌
机构：
[1] 江苏大学微纳米技术研究中心
[2] 江苏大学微纳米技术研究中心 江苏镇江 东南大学机械学院上海
[3] 江苏镇江
来源：
关键词：
GeSb2Te4薄膜;
摩擦力显微镜;
摩擦性能;
粘附力;
D O I：
10.16078/j.tribology.2004.05.006
中图分类号：
TB383 [特种结构材料];
学科分类号：
070205 ;
080501 ;
1406 ;
摘要：
采用摩擦力显微镜考察了磁控溅射纳米GeSb2Te4薄膜在大气环境中的微观摩擦性能,利用JKRS理论分析了针尖同GeSb2Te4薄膜接触时的粘附力和表面能之间的关系.结果表明:当湿度较大时,粘附力较大;而当湿度较小时,粘附力较小;当针尖表面能一定时,粘附力的微小变化可以导致GeSb2Te4薄膜的表面能产生较明显变化;随着扫描范围逐渐减小,摩擦力变化趋于稳定;不同扫描速度下法向力和摩擦力保持较好线性关系,但不同扫描速度下的平均摩擦力随扫描速率变化而呈现非线性变化;为了更好地分析探针和样品表面的微观摩擦机制,宜选择扫描范围为0.1～0.5μm或更小.
引用
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页数：4
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