脉冲激光微加工技术在MEMS中的应用

被引：3

作者：

李艳宁

唐洁

胡小唐

张国雄

机构：

[1] 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室

[2] 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津

[3] 天津

来源：

压电与声光 | 2005年 / 02期

基金：

教育部留学回国人员科研启动基金;

关键词：

脉冲激光; 微机电系统; 激光烧蚀; 激光-LIGA技术;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN249 [激光的应用];

学科分类号：

0803 ; 080401 ; 080901 ;

摘要：

介绍了脉冲激光微加工技术及其在微机电系统(MEMS)加工中的应用。脉冲激光微加工技术能够制作出三维微型结构并具有微米/亚微米加工精度,且适用于多种材料,与传统的微细加工技术(光刻、刻蚀、体硅和面硅加工技术等)相比具有其独到之处。阐述了基于激光烧蚀的脉冲激光直接微加工技术、激光-LIGA技术、激光辅助沉积与刻蚀技术以及MEMS的激光辅助操控及装配技术。

引用

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