共 4 条
[4]
等离子体表面工程[M]. 中国科学技术出版社 , 杨烈宇主编, 1991
用压痕试验法研究CVD金刚石膜的粘附性能
被引：12
作者：
匡同春
刘正义
周克崧
代明江
王德政
机构：
[1] 广东工业大学实验研究中心!
[2] 华南理工大学!广州
[3] 广州有色金属研究院!广州
来源：
关键词：
压痕试验法;
CVD金刚石膜;
粘附性能;
残余应力;
D O I：
暂无
中图分类号：
TB43 [薄膜技术];
学科分类号：
0805 ;
摘要：
在观察与分析压入过程中CVD金刚石膜开裂方式的基础上，初步探讨了用压痕试验法评定CVD金刚石膜粘附性能的可行性．采用反映膜／基粘附性能的临界开裂或剥落载荷Per和抗裂性参数dP／dX两指标评定了硬质合金基体表面经不同预处理方法和沉积工艺参数合成的金刚石膜的粘附性能；研究了粘附性能指标与沉积工艺参数（如甲烷浓度、沉积气压、沉积功率）之间的关系．适当的表面预处理、适中的甲烷浓度、较低的沉积气压、较高的沉积功率均有利于改善金刚石膜的粘附性能．
引用
收藏
页码：83 / 90
页数：8
相关论文