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实用型准分子激光微细加工机研制
被引：2
作者：
李呈德
万盈
左铁钏
机构：
[1] 北京工业大学国家产学研激光技术中心
来源：
关键词：
准分子激光刻蚀,微细加工,掩模投影技术;
D O I：
暂无
中图分类号：
TG665 [光能加工设备及其加工];
学科分类号：
摘要：
介绍了研制成功的掩模投影式实用型准分子激光微细加工机的主要技术指标、结构特点、研制中解决的关键单元技术，并简要介绍其应用。
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