提高Fourier变换轮廓术测量精度的新方法

在傅里叶变换轮廓术测量方法中,对离散的条纹进行DFT(离散傅里叶变换)运算,存在“栅 栏效应”,离散频谱不能完全无误地代表原连续频谱分布,相当于在频域内发生了谱信息损失。为了减小由“栅栏效应”引入的位相误差,采用了对条纹进行空域数值加权和外插补零方法,从而提高FTP的测量精度。计算机模拟证实了所提方法的有效性。