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MEMS研究的新进展——微型系统及其发展应用的研究
被引：17
作者：
李路明
王立鼎
机构：
[1] 中国科学院长春光学精密机械研究所微机械研究室
来源：
关键词：
微型系统；微机械;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN4 [微电子学、集成电路（IC）];
学科分类号：
080903 ;
1401 ;
摘要：
简要叙述了微电子机械系统（ＭＥＭＳ）研究中的多单元综合体——微型系统，包括它的种类、结构、工作原理及相关的特性。对其应用前景作了讨论，并提出了一些超前的设想
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