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一种新的双频光栅轮廓术
被引：13
作者：
李方
周灿林
机构：
[1] 中山大学生命科学院,山东大学物理与微电子学院广州,济南
来源：
关键词：
形貌检测;
傅里叶变换;
相位分布;
相位去包裹;
双频光栅;
D O I：
暂无
中图分类号：
O438.1 [全息光学];
学科分类号：
摘要：
物体含突变部分时,包裹相位很难准确恢复 若用双频光栅技术分两次测量,测量次数增加,不符合实时要求 提出用软件方法生成含两种不同频率的复合光栅,用液晶投影仪投影 针对不同物体突变情形,生成各种不同灵敏度的复合光栅 只一次采集,就达到过去双频多次采集的效果 两幅不同灵敏度的相位图可同时获取,相位去包裹时高精度光栅相位不确定性由粗光栅对应相位修正 最后,进行了实验测试 结果表明,新方法具有速度快、精度高、测试范围广等特点
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页码：632 / 635
页数：4
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