酸蚀深度对熔石英三倍频激光损伤阈值的影响

被引：16

作者：

徐世珍 ^{[1
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吕海兵 ^{[2
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田东斌 ^{[1
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蒋晓东 ^{[2
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袁晓东 ^{[2
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祖小涛 ^{[1
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郑万国 ^{[2
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机构：

[1] 电子科技大学物理电子学院

[2] 中国工程物理研究院激光聚变研究中心

来源：

强激光与粒子束 | 2008年 / 05期

关键词：

Nd:YAG激光; 熔石英; 化学腐蚀; 亚表面缺陷; 激光诱导损伤阈值;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN247 [光检测技术];

学科分类号：

摘要：

采用干涉仪和台阶仪测试蚀刻深度随时间的变化,结合材料去除速率测量,研究了HF酸蚀液对熔石英表面蚀刻的影响。测试了蚀刻后损伤阈值和表面粗糙度的变化。研究表明,熔石英表面重沉积层厚度约16 nm,亚表面缺陷层大于106 nm;重沉积层去除后损伤阈值增大,随亚表面缺陷层暴露其阈值先降低后又增加,最后趋于稳定;然而,随蚀刻时间的增加,其表面粗糙度增大。分析表明,蚀刻到200 nm能有效地提高熔石英的低损伤阈值,有利于降低初始损伤点数量和提高熔石英表面的机械强度。

引用

页码：760 / 764

页数：5

共 7 条

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