利用ZnO薄膜温变特性构建光纤温度传感器

被引:4
作者
隋成华
郑东
刘玉玲
蔡萍根
许晓军
机构
[1] 浙江工业大学理学院应用物理系
关键词
ZnO薄膜; 蓝宝石光纤; 光学吸收边; 光纤温度传感器;
D O I
暂无
中图分类号
TP212.11 [];
学科分类号
080202 ;
摘要
采用电子束蒸发的方法在蓝宝石光纤端面上生长ZnO薄膜,不同测试温度下透射光谱表明:ZnO薄膜的光学吸收边随温度的升高呈明显的红移。根据ZnO薄膜的光学吸收边所呈现的这一负温度效应,研制了基于ZnO薄膜温变特性的透射式光纤温度传感器。实验表明,在室温至500℃测温范围内其灵敏度优于0.05nm/℃。该光纤温度传感器的测温范围理论上可从负温区(约-260℃)至高温区(约700℃)。与其他传统的温度传感器相比,该温度传感器具有结构简单,成本较低,测量稳定性高和量程范围宽等优点。
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