半导体金属氧化物气敏材料敏感机理概述

被引:14
作者
常剑
蒋登高
詹自力
宋文会
机构
[1] 郑州大学
[2] 郑州大学化工学院
关键词
气敏机理; 半导体金属氧化物;
D O I
10.16204/j.cnki.sw.2003.08.003
中图分类号
TP212 [发送器(变换器)、传感器];
学科分类号
080202 ;
摘要
本文结合半导体金属氧化物的电学特性,从气体分子与半导体金属氧化物气敏材料相互作用的角度出发,对其气敏机理作一概述。由于半导体金属氧化物气敏机理与氧存在密切相关,因而从表面吸附、催化氧化反应的角度研究气敏机理对研究反应机理、提高气敏性能、开发新型气敏材料和掺杂剂有着重要的意义。
引用
收藏
页码:14 / 18
页数:5
相关论文
共 11 条
[11]  
气、湿敏感器件及其应用[M]. 科学出版社 , 康昌鹤等编著, 1988