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半导体金属氧化物气敏材料敏感机理概述
被引:14
作者
:
常剑
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0
机构:
郑州大学
常剑
蒋登高
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机构:
郑州大学
蒋登高
论文数:
引用数:
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机构:
詹自力
宋文会
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机构:
郑州大学
宋文会
机构
:
[1]
郑州大学
[2]
郑州大学化工学院
来源
:
传感器世界
|
2003年
/ 08期
关键词
:
气敏机理;
半导体金属氧化物;
D O I
:
10.16204/j.cnki.sw.2003.08.003
中图分类号
:
TP212 [发送器(变换器)、传感器];
学科分类号
:
080202 ;
摘要
:
本文结合半导体金属氧化物的电学特性,从气体分子与半导体金属氧化物气敏材料相互作用的角度出发,对其气敏机理作一概述。由于半导体金属氧化物气敏机理与氧存在密切相关,因而从表面吸附、催化氧化反应的角度研究气敏机理对研究反应机理、提高气敏性能、开发新型气敏材料和掺杂剂有着重要的意义。
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气、湿敏感器件及其应用[M]. 科学出版社 , 康昌鹤等编著, 1988
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