纳米复合超硬薄膜的研究现状

被引：15

作者：

赵红雨

范秋林

宋力昕

施尔畏

胡行方

机构：

[1] 中国科学院上海硅酸盐研究所特种无机材料研究发展中心

[2] 中国科学院上海硅酸盐研究所特种无机材料研究发展中心上海

[3] 上海

[4] 上海

来源：

无机材料学报 | 2004年 / 01期

基金：

教育部留学回国人员科研启动基金;

关键词：

超硬薄膜; 纳米复合结构; CVD; 磁控溅射;

D O I：

暂无

中图分类号：

O484 [薄膜物理学];

学科分类号：

080501 ; 1406 ;

摘要：

自1994年Veprek等人提出纳米复合超硬薄膜的概念以来,以其优异的力学性能和化学性能而成为当今材料科学领域的研究热点之一.本文将介绍纳米复合超硬薄膜的概念、设计思想、超硬机制、制备技术及工艺、性能和应用前景,及其发展趋势.

引用

页码：9 / 16

页数：8

共 4 条

[1] 超硬膜的研究进展 [J].

肖兴成 ;

江伟辉 ;

宋力昕 ;

胡行方 .

无机材料学报, 1999, (05) :705-710

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