双压电片变形反射镜样镜的设计与研制

被引：17

作者：

周虹 ^{[1
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宁禹 ^{[1
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官春林 ^{[1
]}

姜文汉 ^{[1
]}

机构：

[1] 中国科学院光电技术研究所

[2] 中国科学院研究生院

[3] 国防科学技术大学光电科学与工程学院

来源：

光学学报 | 2009年 / 29卷 / 06期

关键词：

自适应光学; 耦联变形反射镜; 泽尼克像差; 影响函数;

D O I：

暂无

中图分类号：

O435.2 [光具组理论与象差理论];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

双压电片变形反射镜作为波前校正器具有结构简单、变形量大、成本低及制造周期短的优点,能代替传统分立式变形镜从而降低自适应光学系统的成本。为验证工艺的可行性和了解双压电片变形反射镜的性能,制造了一块20单元的试验样镜。样镜采用了双层压电陶瓷的结构,其中一层作整体离焦电极以校正大幅值的离焦像差。利用Veeco干涉仪测量了样镜单元电极影响函数,分析了其对前36项zernike像差的校正能力。结果表明.样镜对离焦像差能获得高达8μm以上的校正量,对其它高阶像差也能适量校正,但校正能力随空问频率升高而降低,显示出其适合校正低阶像差的特性。此外.讨论了不同有效孔径下样镜对zernike像差的拟合能力。

引用

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