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采用X射线测量硬质薄膜宏观内应力的拉伸法
被引：2
作者：
李戈扬，漆玄，施晓蓉，张流强，李鹏兴
机构：
[1] 上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室
来源：
关键词：
X射线衍射；薄膜应力；梯度薄膜;
D O I：
暂无
中图分类号：
O484.5 [薄膜测量与分析];
学科分类号：
摘要：
本文讨论了一种采用拉伸释放薄膜宏观内应力的Ｘ射线应力测量方法，并用此方法测量了含有梯度过渡层的ＴｉＮ薄膜的内应力。
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