高精度、大口径平面波像差标准──移相式数字平面干涉仪

被引：6

作者：

陈进榜，宋德真，朱日宏，王青，陈磊，陈道炯

机构：

[1] 南京理工大学电光学院，安徽工学院

来源：

关键词：

干涉仪，移相术，光学平面，标准，精度校核;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH741.13 [];

学科分类号：

摘要：

介绍研制成的一台移相式数字平面干涉仪，其孔径为Φ２４５ｍｍ，用液面作基准标定并消除仪器的系统误差，准确度优于λ／５０（峰谷值，λ＝０．６３２８μｍ）。利用计算机辅助干涉术，被测件口径可扩展到Φ５００ｍｍ。该仪器将用于建立高精度、大孔径平面波像差标准。文中阐述了光学干涉仪、移相器及精度校核等问题。

引用

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