热拉伸和化学腐蚀相结合制备弯曲光纤探针

被引：16

作者：

徐凯

潘石

吴世法

孙伟

李银丽

机构：

[1] 大连理工大学物理系

[2] 大连理工大学物理系大连

[3] 大连

来源：

物理学报 | 2003年 / 05期

关键词：

原子力/光子扫描隧道显微镜; 光纤探针; 热拉伸; 化学腐蚀;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH742 [显微镜];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

提出了原子力光子扫描隧道显微镜 (AF PSTM)系统的关键部分———双功能弯曲光纤探针的制作方法 .采用热拉伸与动态、静态两步化学腐蚀相结合的方法制作出AF PSTM弯曲光纤探针 ,弯曲角度约为 15 0°,尖端曲率半径优于 10 0nm ,锥角范围为 60°— 90° .将这种双功能弯曲光纤探针应用在新研制的AF PSTM系统上 ,同时获得了样品的光学与形貌图像 ,实现了图像分解

引用

页码：1190 / 1195

页数：6

共 5 条

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