基于带宽积分平均衍射效率的多层衍射光学元件设计

被引:20
作者
薛常喜
崔庆丰
潘春艳
佟静波
机构
[1] 长春理工大学光电工程学院
关键词
衍射光学; 多层衍射光学元件; 衍射效率; 带宽积分平均衍射效率;
D O I
暂无
中图分类号
O436.1 [干涉与衍射];
学科分类号
摘要
以衍射光学元件(DOE)相位延迟表达式为基础,研究并给出了多层衍射光学元件(MLDOE)的带宽积分平均衍射效率(BIADE)与相应设计波长关系的表达式。在MLDOE的基底材料确定后,由所给出的表达式可以得到最大BIADE及相应的设计波长,由此可以实现MLDOE的BIADE最大化、精确化设计。在0.4~0.7μm可见光波段,以聚甲基丙烯酸酯和聚碳酸酯为基底材料,通过优化得到最大BIADE为99.3%,相应的设计波长为0.435μm和0.598μm,各层谐衍射元件(HDE)的微结构高度分别为16.460μm和12.813μm,所得到的BIADE比以0.4μm和0.7μm为设计波长时高4%。
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页码:3016 / 3020
页数:5
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