Ti合金化DLC膜的结构和力学性能

被引：4

作者：

江晓红

陆小华

Rogachev A.V

金元生

机构：

[1] 南京工业大学化工学院

[2] 白俄罗斯国立交通大学材料系

[3] 清华大学摩擦学国家重点实验室南京

[4] 南京

[5] 戈梅利

[6] 北京

来源：

无机材料学报 | 2002年 / 04期

基金：

国家杰出青年科学基金;

关键词：

DLC膜; 薄膜沉积; 性能分析;

D O I：

暂无

中图分类号：

TB383 [特种结构材料];

学科分类号：

070205 ; 080501 ; 1406 ;

摘要：

在一台-1型双激发源等离子弧薄膜沉积装置上制取Ti合金化DLC膜,用纳米硬度计、显微硬度计、原子力显微镜以及X射线衍射仪和光电子能谱仪等手段对薄膜的力学性能和结构进行了分析和测定.摩擦磨损试验在一台球-盘滑动磨损试验机上进行.比较了不同钛合金化程度的DLC膜及热处理前后的性能变化.结果表明,薄膜的力学性能与Ti含量有非单值关系,但摩擦系数随Ti含量增加而升高;热处理后薄膜显微硬度显著升高的原因是生成了碳化钛硬化相.

引用

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