异或门鉴相在计量光栅检测中的应用

被引：3

作者：

杨进堂

机构：

[1] 中国科学院长春光学精密机械研究所

来源：

计量技术 | 1996年 / 09期

关键词：

异或门鉴相，计量光栅，刻划误差;

D O I：

暂无

中图分类号：

TB96 [光学计量];

学科分类号：

摘要：

本文比较了异或门鉴相与双稳态鉴相的差异，指出采用异或门鉴相原理在检测计量光栅刻划误差中的优势，介绍了在实际工作中得到验证的情况。

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