光电定角比相法检测圆光栅测量精度的提高

被引：7

作者：

张红胜

冯长有

机构：

[1] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所!吉林长春

来源：

关键词：

圆光栅; 刻划误差; 常角法;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH74 [光学仪器];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

用公式推导说明了影响光电定角比相法检测圆光栅刻划误差测量精度的因素 ,并用两台测量精度不同的仪器做了实验验证。文中提出 ,在仪器稳定 ,主轴回转精度高的前提下 ,再采用分光裂相法读数 ,异或门鉴相、“内插法”、“对称联系法”等措施 ,就能获得较高的测量精度

引用

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页数：5

共 5 条

[1] 用直径全中误差表征圆分度件的刻划误差 [J].

杨进堂 .

杨进堂 .

[3] 异或门鉴相在计量光栅检测中的应用 [J].

杨进堂 .

[4]

角度计量[M]. 中国标准出版社 , 《角度计量》编写组编, 1984

[5]

测量仪器学[M]. 科学出版社 , (苏)耶利谢也夫(С.В.Елисеев)著, 1956