共 1 条
旋转基板的激光测温
被引：6
作者：
陆思渊
马秀芳
沈元华
机构：
[1] 复旦大学物理系!上海
来源：
关键词：
激光测温;
真空镀膜;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN249 [激光的应用];
学科分类号：
摘要：
激光测温是一种先进的温度测量方法。它具有测量准确、反应速度快、非接触等特点 ,尤其适用于测量真空镀膜中基板的温度。但目前的测温对象只能是固定的基板 ,因而还不完全实用。我们新发展了一种自动测温系统 ,可以对旋转基板的干涉条纹移动进行计数 ,从而实现了旋转基板的测温 ,使激光测温技术更具实用性。介绍了该系统的原理、设计并给出了一次实际测温的结果
引用
收藏
页码：3 / 7
页数：5
相关论文