多弧离子镀沉积温度对TiN涂层性能的影响

被引：15

作者：

孙伟

宫秀敏

叶卫平

张覃轶

朱小清

机构：

[1] 武汉汽车工业大学

[2] 东风汽车公司

来源：

电加工与模具 | 2000年 / 05期

关键词：

TiN涂层; 沉积温度; 结合力;

D O I：

暂无

中图分类号：

TG17 [金属腐蚀与保护、金属表面处理];

学科分类号：

080503 ;

摘要：

在多弧离子镀设备上沉积了TiN涂层 ,研究了不同沉积温度下TiN涂层的表面硬度及与基体的结合力。实验结果表明 ,在保证基体材料不过热的前提下提高沉积温度 ,有利于提高TiN涂层的性能。

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共 3 条

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