切削液对金刚石线锯切割单晶硅片质量的影响

被引：10

作者：

高玉飞

葛培琪

李绍杰

侯志坚

机构：

[1] 山东大学机械工程学院

来源：

关键词：

金刚石线锯; 单晶硅片; 切片; 切削液;

D O I：

暂无

中图分类号：

TG501 [切削原理与计算];

学科分类号：

摘要：

选择4种切削液进行了电镀金刚石线锯切割单晶硅片的试验,研究了不同种类切削液对硅片的表面形貌、表面粗糙度、翘曲度和总厚度偏差的影响,分析了切削液对线锯切片过程的作用机理。研究结果表明,合成液对提高硅片的表面形貌质量,降低硅片的表面粗糙度、翘曲度和总厚度偏差的综合效果最好。

引用

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共 4 条

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