薄膜几种重要力学性能的评价

被引：26

作者：

李家宝

覃明

马素媛

陈昌荣

Vincent JI

机构：

[1] 中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家(联合)实验室

[2] LM ESA CNRS

[3] ENSAM 沈阳

[4] 沈阳

[5] Bld de l′Hpital

[6] Paris

[7] France

来源：

理化检验(物理分册) | 2003年 / 09期

关键词：

薄膜; 屈服强度; 加工硬化指数; 残余应力; 泊松比; 杨氏模量;

D O I：

暂无

中图分类号：

O484.5 [薄膜测量与分析];

学科分类号：

070302 [分析化学];

摘要：

提出了一种利用X射线应力分析技术和应变电测法测量附着膜的等效应力———等效单轴应变、屈服强度和加工硬化指数的方法。利用该方法测得一种厚度为2.5μm的TiN膜的条件屈服点σ0.1和σ0.2分别等于4.2GPa和4.4GPa,加工硬化指数n为0.36;对于一种厚度为2.4μm的铜膜,得到σ0.1=328MPa,σ0.2=415MPa,n=0.62。利用无应变剥层技术逐层剥离薄膜,同时测量基片曲率半径的变化,由此测得了一种厚度为2.3μm的TiN膜的残余应力沿层深分布。用新建立的一种利用X射线应力分析法测量薄膜泊松比的技术,测出一种TiN膜的泊松比等于0 27。给出了测量陶瓷膜的杨氏模量的设想。

引用

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页数：6

共 5 条

[1]

MECHANICAL-PROPERTIES OF THIN-FILMS [J].