微机械加速度计内部噪声影响的对比分析

被引：5

作者：

张霞 ^{[1
]}

闫社平 ^{[2
]}

机构：

[1] 西安邮电学院电子工程学院

[2] 上海汉得信息技术股份有限公司技术开发中心

来源：

西安邮电学院学报 | 2012年 / 17卷 / 02期

关键词：

微机械加速度计; 机械热噪声; 量子噪声; 检测精度;

D O I：

10.13682/j.issn.2095-6533.2012.02.004

中图分类号：

TH824.4 [];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

以一种新型的梳状栅电容结构微机械加速度计为研究对象,对比分析机械热噪声和量子噪声对其检测精度的影响。研究结果表明,当微机械加速度传感器的结构尺寸接近纳米尺度时,在一定的温度条件下,量子噪声取代了机械热噪声成为影响加速度传感器自身噪声性能的主要因素,且量子噪声等效加速度大于机械热噪声等效加速度的温度临界点随着器件结构尺寸的减小而增大。

引用

页码：57 / 61

页数：5

共 9 条

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