基于MEMS的硅微压阻式加速度传感器的设计

被引：7

作者：

张建碧

机构：

[1] 重庆城市管理职业学院信息工程学院

来源：

关键词：

微加工; 微压阻式加速度传感器; 有限元分析; 硅;

D O I：

10.16180/j.cnki.issn1007-7820.2009.10.024

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

随着硅微机械加工技术(MEMS)的快速发展,各种基于MEMS技术的器件应运而生。文中首先对传感器结构及工作原理进行了简单介绍,给出了一种基于MEMS技术制作的压阻式硅微加速度传感器的结构和工艺,并对制作的加速度传感器样品进行了动态测试,测试结果表明实验与理论设计值相符。

引用

页码：40 / 42

页数：3

共 5 条

[1] 压阻式硅微型加速度传感器的研制 [J].

席占稳 .

[2] 压阻式传感器热灵敏度漂移的变压源补偿 [J].

吴亚林 ;

赵扬 .

[3] 新型硅微加速度传感器的设计与制作 [J].

李军俊 ;

刘理天 ;

杨景铭 .

[4] 新型硅基MEMS集成光波导加速度传感器 [J].

李炳乾 ;

朱长纯 ;

刘君华 .

[5]

压力传感器的设计制造与应用[M]. 冶金工业出版社 , 孙以材等编著, 2000