TiO2薄膜的制备及结构研究

被引：19

作者：

孟宪权

王君

何磊

范湘军

机构：

[1] 武汉大学物理系加速器实验室

来源：

关键词：

衬底温度; 工作气压; 溅射; 真空沉积; TiO2; 减反射膜; 光学增透膜; 锐钛矿相; 金红石相;

D O I：

暂无

中图分类号：

O484.1,O484.1 [];

学科分类号：

080501 ; 1406 ;

摘要：

本文探讨了用平面磁控溅射法制备ＴｉＯ２薄膜．研究了ＴｉＯ２薄膜结构随溅射条件（衬底温度、氧分压、工作气压）的变化．用Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）测薄膜结构，用Ｘ射线光电子能谱（ＸＰＳ）测薄膜钛氧成分比．得到了制备金红石相和锐钛矿相ＴｉＯ２薄膜的最佳工艺参数．

引用

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