激光外差多普勒二次谐波测厚方法

被引：10

作者：

谢文军

吕岑

宋晨

机构：

[1] 陕西科技大学电气与信息工程学院

来源：

计算机测量与控制 | 2010年 / 18卷 / 08期

关键词：

光电测量; 光谱外差技术; 激光多普勒技术; 仿真;

D O I：

10.16526/j.cnki.11-4762/tp.2010.08.025

中图分类号：

TN249 [激光的应用];

学科分类号：

摘要：

为提高玻璃厚度测量的测量精度,提出一种激光外差检测技术和激光多普勒效应相结合的二次谐波玻璃厚度测量方法;方法应用激光多普勒效应,使激光在玻璃前表面的反射光与其前一时刻在后表面反射的光频率不同,于前表面产生差频信号,由快速傅里叶变换得到二次谐波频差,计算得玻璃厚度;理论计算表明,系统中玻璃厚度与频差成正比;MATLAB软件仿真证明,该方法可以实现精确测量厚度小于1mm的玻璃,测量误差小于±0.005mm。

引用

页码：1721 / 1723+1729 +1729

页数：4

共 12 条

[1]

空间外差光谱仪干涉图数据处理[J]. 叶松,熊伟,乔延利,洪津,方勇华.光谱学与光谱分析. 2009(03)

[2] 光外差法测量光探测器频率响应的系统校准 [J].