干涉仪环境振动的外差检测与自适应控制附视频

被引：9

作者：

吴栋

朱日宏

陈磊

何勇

姬会东

机构：

[1] 南京理工大学电光学院

来源：

光子学报 | 2004年 / 12期

关键词：

移相干涉仪; 环境振动; 外差测振; 相位检测; 自适应振动控制;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH744.3 [];

学科分类号：

摘要：

测试环境的微振动干扰会引起干涉图的抖动,影响移相干涉仪的测量准确.设计了一种内嵌于移相干涉仪的外差测振光路,对干涉仪所受环境微振动进行实时检测;采用单片RF/IF集成芯片对两路40MHz的模拟外差信号直接进行比相,简化了通常使用的数字测相方法.在测得环境振动信息后,运用DSP技术和自适应信号处理的方法,实现了基于PZT移相器的自适应振动控制,实验结果表明干涉仪对幅频积不大于100waves·Hz的环境振动的抑制能力达-39dB.

引用

页码：1493 / 1496

页数：4

共 6 条

[1] 干涉仪自适应抗振的空间移相术 [J].