φ1.8mm棒状压电陶瓷微马达的研究

被引：19

作者：

褚祥诚

阎立

董蜀湘

李龙土

机构：

[1] 清华大学材料科学与工程系!新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室

[2] 北京

[3] 清华大学材料科学与工程系!新型陶瓷与精细工艺国家

来源：

压电与声光 | 2001年 / 02期

关键词：

压电微马达; 微驱动器; 压电陶瓷;

D O I：

暂无

中图分类号：

TM383 [控制用微电机];

学科分类号：

080801 ;

摘要：

提出一种低成本、结构简单 ,直径为 1.8mm的摆头式棒状压电微马达。阐述了压电微马达的驱动机理、部分制作工艺及工作特性。该压电微马达的换能激振部分采用外形尺寸 1.8mm× 8mm的压电陶瓷圆棒 ,马达整体装配外形尺寸 1.8mm× 12 mm ,质量不足 0 .2 5 g,稳定工作频带宽 ,约为 3k Hz,最高空载转速不低于5 0 0 r/ min。

引用

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