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高精密运动工作台控制系统的设计与研究
被引:6
作者
:
蒋培军
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清华大学精密仪器与机械学系光盘国家工程研究中心
蒋培军
齐国生
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清华大学精密仪器与机械学系光盘国家工程研究中心
齐国生
徐端颐
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清华大学精密仪器与机械学系光盘国家工程研究中心
徐端颐
李庆祥
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清华大学精密仪器与机械学系光盘国家工程研究中心
李庆祥
李晟
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清华大学精密仪器与机械学系光盘国家工程研究中心
李晟
李玉和
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清华大学精密仪器与机械学系光盘国家工程研究中心
李玉和
机构
:
[1]
清华大学精密仪器与机械学系光盘国家工程研究中心
[2]
清华大学精密仪器与机械学系光盘国家工程研究中心 北京
[3]
北京
来源
:
光学技术
|
2003年
/ 06期
关键词
:
母盘刻录;
精密运动工作台;
前馈控制;
线光栅;
D O I
:
10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2003.06.027
中图分类号
:
TQ595 [机械与设备];
学科分类号
:
摘要
:
设计并研制了用于母盘刻录机的高精密运动工作台及其控制系统。工作台控制系统采用线光栅作为工作台位移检测工具。采用数字位置环和模拟电流环组成双闭环随动系统,其中位置控制器是带有速度前馈和加速度前馈的数字PID伺服滤波器。实验结果表明,该系统可以满足母盘刻录机的要求。
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页数:4
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