高精密运动工作台控制系统的设计与研究

被引:6
作者
蒋培军
齐国生
徐端颐
李庆祥
李晟
李玉和
机构
[1] 清华大学精密仪器与机械学系光盘国家工程研究中心
[2] 清华大学精密仪器与机械学系光盘国家工程研究中心 北京 
[3] 北京 
关键词
母盘刻录; 精密运动工作台; 前馈控制; 线光栅;
D O I
10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2003.06.027
中图分类号
TQ595 [机械与设备];
学科分类号
摘要
设计并研制了用于母盘刻录机的高精密运动工作台及其控制系统。工作台控制系统采用线光栅作为工作台位移检测工具。采用数字位置环和模拟电流环组成双闭环随动系统,其中位置控制器是带有速度前馈和加速度前馈的数字PID伺服滤波器。实验结果表明,该系统可以满足母盘刻录机的要求。
引用
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页码:723 / 726
页数:4
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共 5 条
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