百级洁净室洁净度异常的成因分析和处理方法

被引：1

作者：

陈球

机构：

[1] 中国华晶电子集团公司动力工厂!无锡

来源：

微电子技术 | 2001年 / 01期

关键词：

单向流; 洁净度; 污染; 漏泄;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN305 [半导体器件制造工艺及设备];

学科分类号：

1401 ;

摘要：

探讨在百级洁净室处理洁净度异常问题的思路、方法和手段

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共 3 条

[1] 洁净技术的现代趋势—SMIF/微环境技术 [J].

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