洁净技术的现代趋势—SMIF/微环境技术

被引：6

作者：

胡雨燕

徐文华

范存养

机构：

[1] 同济大学热能工程系

[2] 同济大学热能工程系上海同济大学信箱

[3] 上海同济大学信箱

来源：

关键词：

SMIF/微环境; 洁净室; 洁净度; 隔离技术; 特征尺寸; 控制粒子; SMIF容器; SMIF手臂; SMIF围档;

D O I：

暂无

中图分类号：

TU831.8 [各种房屋空气调节];

学科分类号：

080705 ;

摘要：

现代半导体技术的飞速发展对工艺环境的要求更加严格,现代洁净技术必须具备高洁净度,高灵活性,低成本的特性,传统的洁净技术已很难达到这样的要求,采用隔离技术的SMIF/微环境技术应运而生。本文介绍了SMIF/微环境系统的构成及其技术经济上的优越性并将其与传统的半导体洁净厂房进行了对比。

引用

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