基于MEMS的智能集成汽车传感器的研究

被引：2

作者：

吕良 ^{[1
]}

邓中亮 ^{[1
]}

刘玉德 ^{[2
]}

连美霞 ^{[3
]}

机构：

[1] 北京邮电大学自动化学院

[2] 北京工商大学机械自动化学院

[3] 机械工程信息研究院

来源：

北京工商大学学报(自然科学版) | 2007年 / 04期

关键词：

汽车传感器; MEMS技术; 智能传感器系统;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

随着汽车传感器的迅速发展和MEMS技术的深入研究,基于MEMS技术的汽车传感器具有广阔的应用前景.本文从传感器原理、MEMS技术理论与制造工艺、智能传感器理论与控制算法、软件与硬件实现、以及集成原理与工艺等几个方面,综合运用MEMS技术、人工智能、信息融合、半导体加工等先进技术,研究基于MEMS技术的智能集成汽车传感器问题.最后对MEMS汽车传感器今后的发展研究进行了探讨.

引用

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