基于MEMS技术的微型传感器

被引：25

作者：

李学东

余志伟

杨明忠

机构：

[1] 武汉理工大学机电工程学院

[2] 武汉理工大学机电工程学院湖北武汉

[3] 湖北武汉

来源：

仪表技术与传感器 | 2005年 / 09期

关键词：

MEMS技术; 微型传感器; 特点; 智能化; 多功能化;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

和传统的传感器相比,微型传感器具有许多新特性,它们能够弥补传统传感器的不足,具有广泛的应用前景,越来越受到重视。文中详细介绍了一些微型传感器件的结构和原理,说明了微型传感器的基本性能特点和微型传感器的发展趋势。

引用

页码：4 / 5+12 +12

页数：3

共 8 条

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