纳米半导体及其应用

被引：3

作者：

李玉铭

李山东

林鸿溢

机构：

[1] 哈尔滨理工大学!哈尔滨

[2] 北京理工大学电子工程系!北京

来源：

关键词：

半导体材料; 纳米半导体; 量子功能器件;

D O I：

暂无

中图分类号：

O649 [半导体化学];

学科分类号：

080501 ;

摘要：

纳米半导体硅（nc-Si：H）薄膜是利用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）方法制备的，制备条件可以很好地进行调节控制。纳米硅薄膜由两种组元组成：纳米尺度晶粒组元和晶粒间的界面组无，即晶态相和晶界相组成.这对发展半导体器件，例如量子功能器件和薄膜敏感器件等是特别有价值的。

引用

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