格兰泰勒棱镜高性能宽带减反射膜的优化设计及性能测试

被引:1
作者
郝殿中
张霞
吴福全
马丽丽
机构
[1] 曲阜师范大学激光研究所
关键词
薄膜光学; 格兰泰勒棱镜; 减反射膜; 带宽;
D O I
10.19655/j.cnki.1005-4642.2006.09.012
中图分类号
O484.41 [];
学科分类号
0803 ;
摘要
格兰泰勒棱镜在光学领域有着重要的应用,透过比的高低和有效带宽的大小,直接影响着棱镜的品质.为了提高棱镜的透射率,拓宽有效使用带宽,借助于计算机辅助设计方法,设计了高性能多层减反射膜系:选用合适的光学薄膜材料,利用电子束蒸镀,借助于离子源辅助蒸镀,制作了高性能的宽带减反射膜.测试结果表明:平均剩余反射率小于0.5%,有效使用带宽在可见光区大于100 nm,达到了设计要求,提升了棱镜的品质.
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