飞秒激光扫描不同温度下的硅片诱导形成微结构的差别

被引：9

作者：

柳岿

冯国英

邓国亮

李玮

机构：

[1] 四川大学电子信息学院

来源：

中国激光 | 2012年 / 39卷 / 08期

关键词：

超快光学; 飞秒激光脉冲; 能量阈值; 硅; 微结构;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN249 [激光的应用];

学科分类号：

摘要：

不同温度下利用钛宝石激光器输出的飞秒激光脉冲(脉宽42fs,中心波长800nm,最大单脉冲能量3.6mJ),通过扫描方式在硅表面诱导产生表面微结构。采用光学显微镜和扫描电镜观察飞秒激光诱导硅表面微结构的形貌,发现不同温度下硅片表面形成的微结构区域和形貌出现明显的差异。根据观测结果,分析比较了不同温度条件下硅材料微结构形成的能量阈值。随着温度升高,形成的微结构区域减小,飞秒激光诱导形成硅表面微结构的能量阈值升高。这对于研究飞秒激光与物质的相互作用有一定的参考价值,也能对将来实现硅表面微结构的制作提供参考。

引用

页码：62 / 66

页数：5

共 10 条

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