微机械技术的兴起及其制造

被引：7

作者：

吴敏镜

机构：

来源：

机械工艺师 | 1998年 / 07期

关键词：

扫描隧道显微镜; 微机械技术; 原子级;

D O I：

10.16731/j.cnki.1671-3133.1998.07.022

中图分类号：

TH [机械、仪表工业];

学科分类号：

0802 ;

摘要：

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页数：3

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共 2 条

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