应用于压电叠堆泵的微位移放大机构

被引：19

作者：

杨志刚

刘登云

吴丽萍

陈洪涛

刘鹏

机构：

[1] 吉林大学机械科学与工程学院

来源：

光学精密工程 | 2007年 / 06期

关键词：

压电叠堆泵; 放大机构; 微位移; 柔性铰链; 三角形放大;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN721 [放大技术];

学科分类号：

080902 ;

摘要：

提出了一种应用于压电叠堆泵的微位移放大机构,该机构以压电叠堆(积层式压电微位移器)为驱动元件,通过基于三角形放大原理的柔性铰链放大机构,放大压电叠堆的输出位移。同时,设计、研制了实验装置,并在试制样机上对其静、动态特性进行了实验。实验测试结果表明:该机构对压电叠堆输出位移的放大倍数达到5倍,并且该机构具有线性良好、高分辨率、高频响应等特点。由有限元分析得到的固有频率达到了1.8 kHz,实际测量的固有频率为1.5 kHz。

引用

页码：884 / 888

页数：5

共 10 条

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