压电泵技术的发展及其应用

被引：13

作者：

焦小卫

黄卫清

赵淳生

机构：

[1] 南京航空航天大学超声电机研究中心

[2] 南京航空航天大学超声电机研究中心南京

[3] 南京

来源：

微电机(伺服技术) | 2005年 / 05期

关键词：

压电泵; 双压电晶片; 压电振子;

D O I：

10.15934/j.cnki.micromotors.2005.05.021

中图分类号：

TH3 [泵];

学科分类号：

080704 ;

摘要：

压电泵是近年来发展起来的一种新型流体泵,是一种利用逆压电效应的新型驱动器,与传统流体泵相比,压电泵具有自身的许多优点,在微机电系统和微流量控制方面有着广阔的应用前景。为此世界各国和科研机构都在大力进行压电泵技术的研究。本文概述了国内外各种压电泵的工作原则和最新研究进展,介绍了压电泵的应用前景,指出了今后压电泵的发展趋势。

引用

页码：66 / 69

页数：4

共 8 条

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