文中基于微细电火花加工系统的高精度运动控制要求,分析了各轴相关的重要的运动控制参数的含义及作用,提出了一种判断运动控制参数改善程度的有效的定量的方法:在控制软件中增加一个特殊的功能,即将每次加工试验过程中各轴的跟随误差实时记录到指定的文件中,然后通过分析各轴跟随误差的变化,判断各参数的调整效果,从而确定最优的运动控制参数。实验结果表明,数控系统运动控制精度提高了50%。最后在保持其它加工条件完全相同的前提下,分别运用优化调节前、后的两组运动控制参数运行了分度圆直径仅0.5mm的微小齿轮加工程序,加工了两个齿轮,差别明显,参数调节有效。该方法可高效、精确的使数控系统达到最佳的控制效果,是对传统的运用数控软件PEWIN32 PRO进行阶跃响应或正弦响应以判断运动控制参数优劣的方法的重要的补充。