粗光栅线位移测量系统细分误差补偿前后的精度分析

被引：8

作者：

林鹏

陈小强

袁祥辉

廖念钊

机构：

[1] 重庆大学光电技术及系统开放实验室

[2] 重庆大学光电技术及系统开放实验室重庆

[3] 重庆

来源：

计量学报 | 2002年 / 01期

关键词：

粗光栅; 细分误差; 精度分析;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH744 [物理光学仪器];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

本文针对粗光栅线位移测量系统的误差来源 ,在大量实验的基础上 ,经过理论分析 ,得出细分误差与本底噪声的线性关系式 ,找到了系统修正误差时的理论依据。同时对系统在细分误差补偿前后作了精度分析。

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[3]

Coarse grating large displacement measuring system with microprocessor .2 Lin Peng,et al. SPIE . 1993