微纳定位/进给技术研究现状

被引：4

作者：

嵇国金

马奎

王磊

机构：

[1] 同济大学中德学院

[2] 同济大学中德学院上海

[3] 上海

来源：

关键词：

微纳技术; 微纳定位/进给; 微纳位移发生/驱动器;

D O I：

10.13250/j.cnki.wndz.2003.05.009

中图分类号：

TH703 [结构];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

微纳定位/进给技术是微纳科学技术、微电子工程、航空航天等领域的关键基础技术。它同时也是微纳科学技术走向产业化的前提。本文就当前几种典型的微纳定位/进给技术做一个总结,分析了各种定位/进给机构的定位/进给原理和具体结构,指出了存在的问题和可能的解决方法。

引用

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