PZT铁电薄膜的掺杂改性

被引：5

作者：

王培英

余大年

刘梅冬

曾亦可

饶韫华

机构：

[1] 华中理工大学固体电子学系

来源：

压电与声光 | 1998年 / 02期

关键词：

溶胶－凝胶，掺杂，疲劳，PZT;

D O I：

暂无

中图分类号：

TM221 [];

学科分类号：

0805 ; 080502 ; 080801 ;

摘要：

用溶胶－凝胶方法制备了掺高价离子钇及过量Ｐｂ的ＰＺＴ铁电薄膜。探讨了添加剂对ＰＺＴ铁电薄膜的结构和电特性的影响。实验表明，过量ｒ（Ｐｂ）６％或掺高价离子ｒ（Ｙ）３％能较大地改善ＰＺＴ铁电薄膜的电性能。

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